電子級氯化氫的制備與分析各方法

     鹽酸脫析法是將濃鹽酸置于脫析塔鐘加熱脫析制備氯化氫氣體，在七十年代末期發展出來的。然后，經過一系列的常溫、低溫干燥、吸附除水以及二氧化碳，壓縮至1.2Mpa，進行低溫精餾，再經過低溫吸附除去氮后壓縮至4.2Mpa，然后再進行裝瓶。

     發生法是在七十年代以前，電子工業用高純度氯化氫的制備一直是將濃硫酸滴加到濃鹽酸中，將其中的水吸收掉，使得過飽和的氯化氫氣體析出。到了七十年代到八十年代初期，制備方法發展到用濃硫酸與焙烘干的食鹽反應，生成高純度的氯化氫氣體，再用壓縮機壓入鋼瓶中。 

     合成法用氯和氫在合成爐中進行燃燒反應生成氯化氫氣體是八十年代初為適應我國電子工業的迅速發展而提出的，在技術上較為先進，由合成爐出來的氯化氫氣體經常溫、低溫干燥和吸附凈化，在低溫、低壓下冷凝，排除不凝氣體雜質，以液態裝瓶。氯、氫合成中，氫過量5％左右，氯化氫氣體中含氫高，以間歇精餾裝置除氫。此外，原料氫是經鈀膜擴散提純，生產規模受到一定限制。 

     發生法以及脫析法生產規模較大。