對超高純度電子級氯化氫凈化的問題解析

    淄博言赫特氣有限公司現有年產2000噸高純氯化氫生產線，連續批量生產應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫。

    電子級氯化氫廣泛應用于半導體、微電子和關聯的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、維護氣氛等等。因為半導體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展，對電子級氯化氫的純度提出了越來越高的需求，電子級特氣的凈化更加要害和重要。目前國內的超高純度凈化技能首要依靠進口，本身的技能水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大距離。本項目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行結尾凈化，使電子級氯化氫純度由ppm級進步到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小，然后極大地改進工藝才能，下降產物缺點， 進步制程的產值，滿意下一代半導體、微電子以及關聯高技能開展的需求。本項目將構成有自主知識產權的超高純度電子級氯化氫凈化技能，處理超高純度電子級氯化氫凈化這一核心技能的國產化問題。

    我公司所主營的鋼瓶裝電子級氯化氫產品分別經國家標準物質研究中心和信息產業部專用材料質量監督檢驗中心抽樣檢驗，純度大于99.999%，總雜質含量小于5ppm，符合國家標準GB/T24469-2009。