凈化是關鍵

  我們來看一下電子級氯化氫的凈化是關鍵的。

  在續批量生產應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫，以及應用于醫藥中間體、農藥及精細化學品制造的2.8N(99.8%)化學級氯化氫。產品性能先進，質量穩定，處于國內領先地位，達到國際先進水平。鋼瓶裝電子級氯化氫產品分別經國家標準物質研究中心和信息產業部專用材料質量監督檢驗中心抽樣檢驗，純度大于99.999%，總雜質含量小于5ppm，符合國家標準GB/T24469-2009。

在氯化氫廣泛應用于半導體是、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展，對電子級氯化氫的純度提出了越來越高的要求，電子級氯化氫的的凈化愈加關鍵和重要。目前國內的超高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將氯化氫傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產品缺陷， 提高制程的產量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。

    看完了希望能給大家帶來幫助！